中國開始銷售納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)“VS1800” ：此外，2010年制定了有關(guān)三維表面形態(tài)評估的標(biāo)準ISO 25178，確立了評估方法，在這種背景下，實施三維測量的企業(yè)和研究機構(gòu)等日益增多。因此，需要我們急切實現(xiàn)有關(guān)表面形態(tài)測量上的測量與分析的簡單化以及應(yīng)對多種樣品的測量問題。
此次發(fā)售的“VS1800”產(chǎn)品， 搭配了符合ISO 25178標(biāo)準的分析工具 “ISO 25178參數(shù)對比工具”。在ISO 25178標(biāo)準中規(guī)定了評估表面性狀的32個項目的參數(shù)，但在對比樣品時，選擇適合評估的參數(shù)很難，成為分析業(yè)務(wù)的難題。“ISO 25178參數(shù)對比工具”，通過按差異程度大小順序自動對測量的參數(shù)值進行依次排序，可輕松選出適合對比樣品的參數(shù)，從而支持客戶的分析業(yè)務(wù)。
此外，“VS1800” 產(chǎn)品，通過光干涉方法*4除了可實現(xiàn)大視野測量、0.01nm的垂直方向分辨率*5、高重現(xiàn)性外，亦通過日立高新技術(shù)科學(xué)自主研發(fā)的技術(shù)，繼承了多層膜的無損傷測量等傳統(tǒng)產(chǎn)品的高測量性能。此外，該產(chǎn)品還可搭配“大傾斜角測量選配 ”*6功能，通過捕捉大傾斜角斜面的微弱的干涉條紋變化，實現(xiàn)傳統(tǒng)的光干涉方式無法實現(xiàn)的大傾斜角斜面測量，從而應(yīng)對多種多樣的樣品表面性狀的三維測量。
中國開始銷售納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)“VS1800”
l2019年3月5日，日立高新技術(shù)科學(xué)公司宣布，在中國開始銷售利用光干涉原理進行非接觸式無損傷三維表面形態(tài)測量的納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統(tǒng)“VS1800”，該產(chǎn)品搭配有支持多目的表面測量標(biāo)準“ISO 25178*1參數(shù)對比工具”，通過簡單而準確的樣品測量支持客戶的分析業(yè)務(wù)，與此同時，憑借不斷創(chuàng)新積累的三維測量性能，實現(xiàn)高精度、高分辨率的表面性狀的測量。
